IMS 積體電路測試系統(IMS Logic Master )

　１、系統規格

• Complete 200 MHz Test Capabilities
• Stimulus Data to 400 Mbits/Sec
• 1.5 ns Rise and Fall Time for ECL and CMOS Swings
• Per-Pin Voltage and Programmable Loads
• Per-Pin Programmable 50 ps Edge Resolution
• 7 bits per Channel for Simultaneous Real-time Compare and Data Acquisition
• Timing Linearity and Stability ≦±100 ps
• Force and acquired Skew ≦±400 ps (ATS1) or ≦±600 ps (ATS2)
• Optional Per-pin DC PMU
• Dual-threshold Compactors
• Window and Edge Sampling
• Pin Count to 224 I/O (ATS1) and 448 I/O (ATS2)
• Optional Analytic DC PMU
• 502 MByte Extended Pattern Storage for Rapid Pattern Reload
• Automated Measurement Software
• EthernetTM and GPIB interfaces
• SunTM Workstation Host

　２、系統軟體功能

• IMS-Screen Controler(V6.1):數位 IC 測試 (以 Interactive Screen 或Command Language)
• APT(V3.1b) :測試 Pattern 轉換 (Automatic Pattern Translator)
• Testview (V4.0b)& Labview(V3.01):Mixed-Signal IC 測試

　３、系統模組Module)

• Control Module x2
• Timing module x1
• Data module x14
• DC PMU module x1
• Power module x2　　　　　
• Scan module x1

　４、Mixed-Signal IC 測試儀器組

　５、Socket Card 種類及數量

• DIP 48 x4
• CLCC 68/84 各x2
• PGA 68 x2
• QFP 100/128/144/160/208 各 x2
• Open Grid I/O x2
• Mixed Signal Open I/O x2
• ADC DEMO (8 bits 9012/16 bits 40516) 各 x1

　　探針站 (Wentworth Probe Station)

　１、防震桌

• Fixture Mount for IMS ATS200 Fixturing

　２、顯微鏡

• 可承接 Laser Cutter, Camera Adapter, 應裝設於防震桌上
• 接物鏡 (ULWD - 10倍, 2倍 ) , (SLWD - 50倍, 100倍 ) , 接目鏡 10倍
• Motorized Microscope Mount with X/Y/Z direction, need Manual Override Knobs
• Fiber Optic Illuminator , 2X Zoom
• Coarse adjustment 3.1 mm/rot, fine adjustment 0.1mm/rot, focusing 50mm

　３、雷射切斷機

• Laser Adapter , 可裝置於顯微鏡上面
• YAG Laser
• nm Wavelength, 0.4mj-0.6mj energy, < 7ns pulse width

　４、螢幕

• 20" Sony Color Monitor

　５、探針座

• Left Hand, Vacuum Base, Micrometer driven Probehead, > 100 T.P.I.
• Right Hand, Vacuum Base, Micrometer driven Probehead, > 100 T.P.I.
• BNC Coaxial Cable to needle

　６、低負載探針座 (for Pico Probe)

• Manipulator Long Arm Assembly for Pico Prober
• Pico Prob Model 12C
• Power Supply for Pico Probe

　７、探針

• point < 0.2um, for Pico Probe
• point < 0.5um, for Pico Probe
• tip radius < 0.35 um
• tip radius < 0.25 um
• tip radius < 1.65 um

　８、其它相關配備

• Vacuum Pump , 15-17" Hg Vacuum
• AIR Compressor, 80 psi nominal

數位訊號分析儀(Tek 602A Digitizing Signal Analyzers)

　１、主機

• 8 Bits Vertical Resolution
• 1 mV/div to 10 V/div Channel Scale
• 10 ps/div to 100 s/div Sweep Speeds
• Vertical Accuracy =< 1 %
• 32K Points Record Length
• 2 Gs/s Sampling Rate
• Fully GPIB & RS-232 Programmable Output
• Hardcopy for Centronix, GPIB, RS-232
• Color Display
• Touch Screen Operator
• 1.44 MB Floppy Disk Drive with MS-DOS
• Safety - Listed UL 1244, CSA Bulletin 556B
• Non-Volatile RAM for over 450K ponts of Storage
• Cables for GPIB & RS232C

　２、模組 (Tek 11A52)

• 2 Channel
• 600Mhz Bandwidth
• 50 Ohm Input Impedance
• Accuracy +/- ( 0.9 % + 0.02 div )
• Input Coupling Mode : DC/AC/OFF

　３、模組 (Tek 11A72)

• 2 Channel
• 1Ghz Bandwidth
• 50 Ohm Input Impedance
• Accuracy +/- ( 1.0 % + 0.02 div )
• Input Coupling Mode : DC/AC/OFF

　４、探針 (Tek P6204)

• 10X Attenuation
• 1Ghz 3db Bandwidth
• +/- 10V Dynamic Range
• +/- 15V DC Offset
• Cin < 1.9pf, Rin > 10 Mohm
• BNC Interface 及 各種轉接夾具

　５、探針 (Tek P6217)

• 10X Attenuation
• 4Ghz 3db Bandwidth
• +/- 4V Dynamic Range
• +/- 5V DC Offset
• Cin < 0.4pf, Rin > 100 Kohm
• BNC Interface 及各種轉接夾具

半導體參數分析器

HP 4155A Semiconductor Parameter Analyzer

　１、主機

• 可測量電壓之 ( 範圍:2uV-200V, 解析度:2uV, 準確度:700uV )
• 可測量電流之 ( 範圍:10fA-1A , 解析度:10fA, 準確度:3pA )
• 脈波寬度 : 0.5msec - 100msec
• 最高取樣點 10,001 ( 分成 linear, log, thinned-out )
• 取樣解析度 :(auto)
  • 60us - 480us 解析度為 20us
  • 480us - 1s 　解析度為 80us
  • 1s　- 65534s 解析度為 2ms
• 含 60 Hz line freguency.
• 彩色顯示器 : 7.5" CRT with 1024 * 400 dots
• 外接 3.5" 2HD 之硬碟機 ( 適 MS-DOS 格式 ) 、面板及鍵盤
• 含 HP-IB, RS232C 接頭(含同軸/三軸/)及 HBASIC 控制軟體

　２、擴充器

• 含一組接地單元 :
  • 輸出電壓 0-+100uV,
  • max sink current 1.6A,
  • Load Capacitance =< 1uF,
  • Cable Resistance (Forc =< 1 ohm, Sense =< 10 ohm)
• 含一組高功率源控制單元 :
  • max cable resistance 10 ohm,
  • typical voltage source output resistance 0.2 ohm,
  • current cource output resistance >= 10e13 ohm
• 含兩組脈波產生源單元 :
  • 2 channels,
  • amplitude ( 4mVpp to 40 Vpp),
  • pulse width ( 1us to 9.99s ),
  • pulse period ( 2us to 10s ),
  • transition time ( 100ns to 10ms ),
  • output impedance 50ohm
• 含連線如同軸電覽、三軸電覽等及面板

　３、電壓源選擇器

• 2 channel, 可選擇機械式開關或半導體式開關
• 3m control cable

　４、附屬裝置

• 電阻選擇箱 :
  電阻值 ( 0/10k/100k/1M ohm ), 最大電壓 200V,
  最大電流 1A, 電阻準確度 0.3%, Kelvin sense, 漏電流 < 100fA
• 插座模組 ( 28DIP, 12TO, axial lead ), Teflon board

其他測試儀器

１、任意波形產生器(PRAGMATIC 2411A)

Arbitrart Waveform Generator

　　　　取樣頻率          :2MHz ,4Digits <50ppm
　　　　振幅解析度        :16 Bits 65536點
　　　　方波RISE/Fall 時間: < 150ns 
　　　　THD+Noise         : < 85dB (@2MHz clock)
　　　　操作模式          :cycle burst, Log.sweep,interal
　　　　                   trigger, gate, external width
　　　　介面              :RS_232 /GPIB

２、可程式波形合成器(ANALOGIC 2020)

Polynomial Waveform Synthesizers

　　取樣頻率　　　　　 :25MHz&100MHz Mode  
　　振幅解析度　　　　 :12Bits,512K點,<50ppm
　　Output Noise　　　: < 10mVrms 
　　THD +Noise　　　　: < 85dB (@2MHz clock)
　　標準操作模式　　　 :SQUARE SINE TRIANGLE NOISE WAVEFORM
　　任意波形操作模式　 :Polynomial 
　　介面　　　　　　　 :RS232/ GPIB

３、多端電源供給器(HP 6625A)

(Multiple Output Power Supply

　　　　範圍　　　: Low Range 0 to 7V ,
　　　　　　　　　　0 to 15mA   25W
　　　　負載(調節): 0.5mV/0.005mA
　　　　　　　　　　High Range 0 to 50V,
　　　　　　　　　　0 to 500mA 25W
　　　　負載(調節): 0.5mV/0.005mA
　　　　　　　　　　Low Range 0 to 16V,
　　　　　　　　　　0 to 200mA 50W
　　　　負載(調節): 0.5mV/0.01mA
　　　　　　　　　　High Range 0 to 50V,
　　　　　　　　　　0 to 2A  50W
　　　　負載(調節): 0.5mV/0.01mA   
 
漣波雜訊 CVp_p :0.5mV/3mV(rms/p_p)
準確度V/I      :0.016﹪/0.04﹪

４、LCR電表(HP 4284A LCR Meter)

• 位數 :6 digits
• 頻率 :100Hz - 1MHz
• 準確度 :0.05%
• 功能/範圍
  • Z :0.01m - 99.9999M
  • Y :0.01nS - 99.9999S
  • C :0.01fF - 9.9999F
  • L :0.01nH - 99.999kH
• 介面 :GPIB
• Directly coupled test fixture * 1
• Tweezer-type test fixture *1

５、脈衝/函數產生器(IWATSU SG4511)

Pulse/Function Generator

• 頻率 :1mHz - 50MHz
• 輸出 :10mVp-p - 16Vp-p 50Ω Load
• 準確度 :0.0015% (Sine CONT)
• 功能 :Sine, triangle, ramp, square, pulse dc, Ware cursor LCD panel
• 操作模式 :cycle burst, Log.sweep,interal trigger, gate, external width
• 控制模式 :
  • FM dc to 200Hz 5% deviation
  • AM : dc to 1MHz
  • PWM :10nS to 1 S
  • VCO : dc to 200Hz
• 介面 :GPIB
• 4 terminal to 2terminal alligator clips * 1

６、計數器(ANRITSU MF1604A)

Counter

• 頻率 :0.1mHz-3GHz 2 channels
• 位數 :10 Digits
• 功能/範圍:Period/ 10nS - 10000S
  　　　　 :Pulse width 20nS to 10000S
• TIME BASE :10MHz Aging rate< 5*10e-10/day
• 介面 :GPIB
• POWER :AC/DC 兩用

７、多功能電表(HP 3458A)

Multimeter

• 位數 :8 1/2 digits
• DC電壓
  • 範圍 : 0.1V - 1000V
  • 靈敏度:10nV
  • 穩定度:5ppm/year
• AC電壓
  • 範圍 :10mV - 1000V
  • 頻寬 :1Hz -10MHz
  • 準確度:100ppm
• DC電流
  • 範圍 :100nA - 1A
  • 靈敏度:10pA
  • 穩定度:20ppm/day
• AC電流
  • 範圍 :100uA - 1A
  • 頻寬 :10Hz -100kHz
  • 準確度:500ppm/day
• 電阻
  • 範圍 :10Ω - 1GΩ
  • 靈敏度 :10uΩ
  • 穩定度:5ppm/day
• 接線 :2wire/4wire
• 介面 :GPIB
• 電源 :110V 60Hz

８、DC精密電壓源(HP 6114A)

Voltage Source

• DC電壓 :
  • 0V - 20V ,0 - 2A
  • 20V - 40V,0 - 1A
• 準確度 :0.025%
• 雜訊 :
  • CV 40uV/200uV( rms/peak to peak)
  • CC 200uA/1mA

９、DC精密電流源(HP 6117C)

Current Source

• DC電流:0V - 500mA ,0 - 50V
• 準確度:0.025%
• 雜訊 :0.00032*F.S./0.008*F.S. (rms/peak to peak)

１０、電源供給器(HP E3615A/3610A)

Power Supply

• 範 圍 : 0 to 20V ,0 to 3A, 60W X 2台(15A)
  　　　0 to 15V ,0 to 2A, 30W X 2台(10A)
• 負載/調節 :0.01%+2mV
• 漣波雜訊 :200uV/1mV(rms/p-p)
• 解析度 :10mV, 5mA

１１、多功能電表(HP 34401A)

Multimeter

• 位數 :6 1/2 digits
• DC電壓
  • 範圍 : 0.1V - 1000V
  • 解析度 :100nV MAX
  • 準確度 :20ppm
• AC電壓
  • 範圍 :100mV - 750V
  • 頻寬 :3Hz -300kHZ
  • 解析度 :100nV MAX
• DC電流
  • 範圍 :100mA - 3A
  • 解析度 :10nA MAX
• AC電流
  • 範圍 :3A MAX
  • 頻寬 :3Hz -5kHz
• 電阻
  • 範圍 :100Ω - 100MΩ
  • 靈敏度 :100uΩ
• 接 線 :2wire/4wire

１２、邏輯脈衝產生棒(HP)

Logic Pulser

• 輸出電流 :TTL < 650mA, CMOS < 100mA
• 脈衝寬度 :TTL > 0.5us, COMS > 5.0us
• TTL/CMOS Level

１３、邏輯棒(HP)

Logic Probe

• 輸入電流 : < 15uA
• 輸入電容 : < 15pF
• TTL/CMOS Level
• 輸入保護 :120V
• 介面 :GPIB

１４、掌上型電表(HP E2377A)

• 位數:3 1/2 digits
• DC電壓
  • 範圍 : 1000V MAX
  • 解析度 :100uV
  • 穩定度 : 0.3%/year
• AC電壓
  • 頻寬 :40Hz - 1kHz
  • 準確度 :1%
• 電阻 :100mΩ MIN
• 接線 :2wire
• Diode test
• DCI/ACI
• ( Temp(k-type), Airflow thermocouple probe, Adapter) X1

１５、HP筆式繪圖機

• 8 支筆, A4 size
• 含 HPIB 介面, 及相關連線

１６、數位電表(Fluke 8050A)

Multimeter

• 位數 :4 1/2 digits
• DC電壓
  • 範圍 :1000V MAX
  • 解析度 :100uV
  • 穩定度 : 0.3%/year
• AC電壓
  • 頻寬 :20Hz ~ 50kHz
  • 準確度 :1%
• 電阻 :100mΩ MIN
• 接 線 :2wire